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等離子廢氣處理設備有足夠的能量來產生自由基，引發一系列復雜的物理、化學反應。由低 溫 等 離子體引起的氣體有機物化學反應是在氣相中進行的電離、離解、激發、原子.
等離子廢氣凈化設備生產能高效去除揮發性有機物（VOC）、無機物、硫化氫、氨氣、硫醇類等主要污染物，除臭效率可達95%以上。
車間廢氣成套低溫等離子凈化處理設備 降解揮發性有機污染物（VOCs）傳統的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對于低濃度的VOCs很難實現，而光催化降解VOCs又存在催化劑容易失活的問題，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的限制，具有潛在的優勢。但由于等離子體是一門包含放電物理學、放電化學、化學反應工程學及真空技術等基礎學科之上的交叉學科。因此,目前能成熟的掌握該技術的單位非常的少。
復合式等離子惡臭氣體凈化設備 初級電子在電場中獲得加速，撞擊空氣中的氧分子。當能量超過氧分子的電離電位時氧分子迅速離子化。失去電子的氧分子變成正極性氧離子（O2+），而釋放的電子又與另一中性氧分子結合變成負極性氧離子（O2－），結果是氧離子的兩級分化并吸附中性氧分子形成O2+、O2－、O2等氧聚集的離子群，具有*的氧化性，可在很短的時間內將污染空氣中的有害成分氧化分解為無害的產物和水
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